Milli-Q?半導體行業電子級水解決方案
專為微量元素分析量身定做的超純水Milli-Q? IQ Element

半導體制程工藝涉及到不同的步驟,包括光刻、刻蝕、離子注入、清洗等等,而各個不同的制程工藝中,支撐材料如電子化學品、光刻膠等的性能也對于集成電路的制造起到了關鍵的作用。

隨著半導體芯片性能不斷提高,加工難度加大,對半導體原料、生產輔助材料、電子化學品、電子氣體、研磨材料、光刻膠、蝕刻液等材料的性能要求提高,電子級水被廣泛應用于相關材料的生產、質量分析等環節,其純度及穩定性直接影響最終產品的質量。

Milli-Q?
Milli-Q?, 德國默克集團生命科學事業部實驗室純水產品線品牌,全球實驗室純水和超純水解決方案的領導者,客戶廣泛分布在制藥、高校、科研、政府、第三方檢測、醫療、診斷、生物技術、食品飲料、能源等各個行業。Milli-Q?實驗室純水解決方案,全面滿足客戶在水質、應用、體積、流量和人性化操作方面的各種需求,以及在水質參數監測和追溯方面的需求。

Milli-Q? IQ Element裝置與Milli-Q? IQ 7系列純水系統相結合,可提供電子級水,適用于半導體領域的材料沖洗、痕量和超痕量元素分析 ,包括ICP-MS、GF-AAS痕量 IC。

使用來自Milli-Q? IQ 7000或Milli-Q? IQ 7003/05/10/15系統的新制備超純水,Milli-Q? IQ Element裝置進一步對水進行純化。在使用點取用的水被證實含有極低水平的元素污染物,從單個ppt到亞ppt檢測水平*。專門從事超痕量元素 分析的獨立實驗室已經驗證了本裝置的水質。

設計適合您的痕量分析工作流程
易于集成
結構緊湊的裝置設計適合無縫、無污染地安裝于潔凈室環境或層流罩中。
易于使用
觸摸屏讓您能夠持續查看基本質量參數,只需點擊幾下,即可打印取水報告或設置所需的取水量。
易于避免污染
在工作時無需觸摸本裝置;只需用腳踏開關即可在使用點取水,完全解放您的雙手。
易于維護
所有純化濾芯的設計都方便更換。用戶不需工程師現場服務幫助即可自行更換。
易于數據管理
永遠都不會丟失對水質的跟蹤。直觀的數據管理系統讓您只需點擊幾下即可監控、存儲和快速檢索水質數據——從單次取水到完整的歷史記錄。

為了評估Milli-Q? IQ 7 系列純水系統與Milli-Q? IQ Element 裝置組合的性能,在兩個獨立的實驗室中進行了電感耦合等離子體質譜(ICP-MS)分析(表1 和2)。在這兩個實驗室中,Milli-Q? IQ Element 裝置連接到潔凈室中的Milli-Q?IQ 7005 系統,以最大限度地減少實驗室環境造成的污染。在丟棄至少10 L 水之后收集超純水,并且用待測試的水沖洗取樣瓶數次。結果表明,這種水僅含有極低含量的被測元素,并且滿足現代 ICP-MS 儀器的最嚴格純度要求。

1. 使用連接到Milli-Q? IQ 7005純水化系統的Milli-Q? IQ Element所產生的高純度水進行的 ICP-MS分析。
數據由日本東京安捷倫科技公司(Agilent Technologies)提供。? 版權歸安捷倫科技有限公司(Agilent Technologies, Inc.)所有。
經安捷倫科技有限公司(Agilent Technologies, Inc.)許可轉載

2. 使用連接到Milli-Q? IQ 7005純水系統的Milli-Q? IQ Element所產生的高純度水進行的 ICP-MS分析。數據由法國波城UT2A提供。

歡迎關注Milli-Q?半導體行業電子級水解決方案,如需了解更多,請填寫如下信息獲取電子版詳細資料;如果您有任何電子級水問題,也請您留下您的信息,我們專業的應用專家會與您聯系。
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6個月以內 6-12月內 1-2年
2年以上 暫無相關需求
3. 你對純水產品的需求是基于?
實驗室擴建,或者新增項目 設備正常淘汰,需添加設備 正常使用中,需要更換耗材
對純水系統的驗證、服務、維護保養服務的需求 其他
4. 其它服務
5. 主要產品 *
晶圓制造 電子級氫氟酸 特種氣體
電子化學品 靶材 光刻膠
電子級多晶硅 半導體單晶硅 砷化鎵
碳化硅 其它
6. 現有純水品牌 *
Milli-Q Sartorius Elga
Avidity 其它國產
7. 現有超純水品牌 *
Milli-Q Sartorius Elga
Avidity 其它國產
8. 純水主要用途 *
作為超純水的進水 沖洗 其它
9. 實驗室常用化學分析儀器 *
IC ICP-MS 其它
10. 純水日常用水量 *
<10L/天 20-50L/天 >50L/天
11. 純水主要用途 *
IC ICP-MS GC-MS
其它
12. 超純水日常用水量 *
<10L/天 20-50L/天 >50L/天
13. 超純水主要用途 *
化學分析設備 作為生產原料 材料沖洗
其它
14. 主要參考的水質標準 *
GB/T 11446 ASTM D1129 其它
15. 近期分析儀器設備采購需求 *
IC ICP-MS Others
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