Milli-Q?半導體行業電子級水解決方案
專為微量元素分析量身定做的超純水Milli-Q? IQ Element |
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半導體制程工藝涉及到不同的步驟，包括光刻、刻蝕、離子注入、清洗等等，而各個不同的制程工藝中，支撐材料如電子化學品、光刻膠等的性能也對于集成電路的制造起到了關鍵的作用。
隨著半導體芯片性能不斷提高，加工難度加大，對半導體原料、生產輔助材料、電子化學品、電子氣體、研磨材料、光刻膠、蝕刻液等材料的性能要求提高，電子級水被廣泛應用于相關材料的生產、質量分析等環節，其純度及穩定性直接影響最終產品的質量。
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| Milli-Q? |
| Milli-Q?, 德國默克集團生命科學事業部實驗室純水產品線品牌，全球實驗室純水和超純水解決方案的領導者，客戶廣泛分布在制藥、高校、科研、政府、第三方檢測、醫療、診斷、生物技術、食品飲料、能源等各個行業。Milli-Q?實驗室純水解決方案，全面滿足客戶在水質、應用、體積、流量和人性化操作方面的各種需求，以及在水質參數監測和追溯方面的需求。 |
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Milli-Q? IQ Element裝置與Milli-Q? IQ 7系列純水系統相結合，可提供電子級水，適用于半導體領域的材料沖洗、痕量和超痕量元素分析 ，包括ICP-MS、GF-AAS和痕量 IC。
使用來自Milli-Q? IQ 7000或Milli-Q? IQ 7003/05/10/15系統的新制備超純水，Milli-Q? IQ Element裝置進一步對水進行純化。在使用點取用的水被證實含有極低水平的元素污染物，從單個ppt到亞ppt檢測水平*。專門從事超痕量元素 分析的獨立實驗室已經驗證了本裝置的水質。
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| 設計適合您的痕量分析工作流程 |
易于集成
結構緊湊的裝置設計適合無縫、無污染地安裝于潔凈室環境或層流罩中。
易于使用
觸摸屏讓您能夠持續查看基本質量參數，只需點擊幾下，即可打印取水報告或設置所需的取水量。
易于避免污染
在工作時無需觸摸本裝置；只需用腳踏開關即可在使用點取水，完全解放您的雙手。
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易于維護
所有純化濾芯的設計都方便更換。用戶不需工程師現場服務幫助即可自行更換。
易于數據管理
永遠都不會丟失對水質的跟蹤。直觀的數據管理系統讓您只需點擊幾下即可監控、存儲和快速檢索水質數據——從單次取水到完整的歷史記錄。
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為了評估Milli-Q? IQ 7 系列純水系統與Milli-Q? IQ Element 裝置組合的性能，在兩個獨立的實驗室中進行了電感耦合等離子體質譜（ICP-MS）分析（表1 和2）。在這兩個實驗室中，Milli-Q? IQ Element 裝置連接到潔凈室中的Milli-Q?IQ 7005 系統，以最大限度地減少實驗室環境造成的污染。在丟棄至少10 L 水之后收集超純水，并且用待測試的水沖洗取樣瓶數次。結果表明，這種水僅含有極低含量的被測元素，并且滿足現代 ICP-MS 儀器的最嚴格純度要求。
表1. 使用連接到Milli-Q? IQ 7005純水化系統的Milli-Q? IQ Element所產生的高純度水進行的 ICP-MS分析。
數據由日本東京安捷倫科技公司（Agilent Technologies）提供。? 版權歸安捷倫科技有限公司（Agilent Technologies, Inc.）所有。
經安捷倫科技有限公司（Agilent Technologies, Inc.）許可轉載
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表2. 使用連接到Milli-Q? IQ 7005純水系統的Milli-Q? IQ Element所產生的高純度水進行的 ICP-MS分析。數據由法國波城UT2A提供。
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